维修日立扫描电子显微镜
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所 在 地 中国 上海
发布日期 2021-05-22 08:01:53
Hitachi SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测;此外在半导体应用中,还可以安装EBIC探测器,采集感生电流图像,极大丰富了信号的采集,对样品的信息的收集达到了新的高度。
日立电子显微镜SU8020特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次电子分辨率 | 1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm) | |||||||
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm) | ||||||||
加速电压 | 0.1~30kV | |||||||
观测倍率 | 20~8000,000(底片输出) | |||||||
60~2,000,000(显示器输出) | ||||||||
样品台 | ||||||||
马达驱动 | 5轴 | REGULUS样品台 | ||||||
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm | |||||
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5~70° | |||||||
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm | ||||||
最大装载尺寸 | 100mm(最大) | 150mm(最大) | 150mm(最大) | |||||
150mm(选配) | 200mm(选配) | |||||||
探头 | ||||||||
标配 | Lower | 高立体感图像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 | |||||||
Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 | |||||||
| STEM | 明场像、暗场像 | ||||||
YAG 探头 | BSE图像 | |||||||
半导体探头 | BSE图像 | |||||||
EBIC | 电子束感生电流图像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 标配 | |||||||
物镜光阑 | 内置自清洁功能 | |||||||
电子枪 | 内置加热器 | |||||||
真空系统 | ||||||||
离子泵 | 3台 | |||||||
分子泵 | 1台 | |||||||
机械泵 | 1台 | |||||||
日立(HITACHI)是一家日本综合跨国集团,成立于1910年,总部位于日本东京。 日立于1982年4月在纽交所上市,曾在福布斯全球企业2000强榜单中排名第149。日立事业涉及有能源系统、铁路等交通系统,运用大数据进行创新的信息系统,以及通过健康管理、诊断、医疗技术等提供医疗保健等领域。
电子显微镜,简称电镜,英文名Electron Microscope(简称EM),经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。 电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2nm,也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。
扫描(拼音:sǎo miáo)指通过电子束、无线电波等的左右移动在屏幕上显示出画面或图形,是对某些文字图案的复制,记忆,并保存同样的画面。
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