四极质谱残余气体分析仪
98000元
价 格 98000元
所 在 地 中国 安徽 芜湖
发布日期 2020-04-22 20:31:03
高智能、高精度、高可靠四极质谱气体分析仪
残余气体分析仪(RGA)是所有真空工程师日常工作中必备的工具,基于四极质谱原理的RGA可以快速测量并分析真空室内各种气体的组份与分压强,因此,在真空排气检测,真空镀膜与残余气体监控,混合气体配比充气,真空检漏,粒子加速器,真空内表面放气鉴定,零件污染源判断,低温泵再生,以及去气剂状态测量等应用中都可以发挥无以替代的作用。
INTREE系列RGA是新一代全智能型插拔式气体分析仪,采用先进的四极杆质谱技术为您的应用提供了无以比拟的气体检测、控制,以及定性定量分析等手段,可在毫秒级时间内在全动态范围对气体进行采样,分析仪能够详细地分析真空系统内部的微量气体成份种类,各组份分压强及系统总压强,同时记录各组份气体分压强随时间的变化,此外,分析仪还可以任意设定包括氦在内的样品气体用作真空系统检漏。INTREE不仅可以提供系统RGA所有的性能,而且结构小巧,全智能化,可独立挂机运行。如果需要,上位计算机在INTREE iVac2.0®软件支持下对多达16个RGA进行组网管理,实现多点同步实时监控。
INTREE系列气体分析仪已在真空电子、半导体工艺、平板显示、太阳能基板,以及理化教学等行业中得到广泛的应用。
主要性能一瞥
Specifications
Models | HX01060F | HX01060M | HX01200F | HX01200M | HX01300F | HX01300M |
测量范围(AMU) | 1-60 | 1-60 | 1-200 | 1-200 | 1-300 | 1-300 |
探测器种类 | 法拉第杯 | 电子倍增 | 法拉第杯 | 电子倍增 | 法拉第杯 | 电子倍增 |
分辨率 | 0.5AMU~1.5AMU at 10%峰高,软件自动调节 | |||||
最大工作压强 | 5.0E-2Pa | 5.0E-4Pa | 5.0E-2Pa | 5.0E-4Pa | 5.0E-2Pa | 5.0E-4Pa |
最小可测分压强 | 5.0E-10Pa | 5.0E-12Pa | 5.0E-10Pa | 5.0E-12Pa | 5.0E-10Pa | 5.0E-12Pa |
测量速度 | 2 ms – 60 s/amu | |||||
最大工作温度(探头) | 200 °C | |||||
最大烘烤温度(探头) | 350 °C | |||||
工作环境温度 | 0–45 °C | |||||
电源输入 | +24VDC(+/-10%)/3.0A | |||||
应用软件 | INTREE 2.0 for Windows | |||||
通讯接口 | 单机应用:USB 2.0,或RS232 (非隔离, 115200波特率, DB9插座);多机联网:RS485非隔离, 115200波特率, DB9插座, 3位地址) | |||||
用户I/O接口 | 2路模拟输入(0~+10VDC); 2路数字输入; 2路数字控制输出 | |||||
状态显示器 | 高亮蓝光128X64 STN-LCD显示 | |||||
几何尺寸 | 主控盒: 150mm H X 115mm W X 190mm L;探头: 75mm Dia. X 117mm L | |||||
重量 | 2.5Kg (包括探头) |
变频功率分析仪是用于各类变频调速系统的电压、电流、功率、谐波等电量测试、计量的新型测量设备,是变频技术高速发展的必然产物,也是变频技术持续健康发展的重要基础仪器,更是变频设备能效评测不可或缺的工具。
质谱是一种测量离子荷质比(电荷-质量比)的分析方法,可用来分析同位素成分、有机物构造及元素成分等。质谱法在一次分析中可提供丰富的结构信息,将分离技术与质谱法相结合是分离科学方法中的一项突破性进展。质谱分析法对样品有一定的要求。在众多的分析测试方法中,质谱学方法被认为是一种同时具备高特异性和高灵敏度且得到了广泛应用的普适性方法。
质谱中的四极分析器是在真空条件下吗
四级杆质谱仪,顾名思义,就是用四级杆作为质量检测器的质谱仪。其实四级杆在各种质谱仪中广泛存在,它最基本的功能是离子传输通道,但同时也具备质量分析器和裂解器的作用。单四级杆质谱,是用一个四级杆作为质量分析器,属于低分辩质谱,功能单一,定性和定量能力都很一般。三重四级杆质谱,是由三个四级杆组成,低分辩质谱,主要用于定量分析,是主流的定量分析质谱,常用模式MRM。Q-Tof:单四级杆-飞行时间质谱,单四级杆作为离子传输通道和裂解器,后面配合飞行时间质谱,用于高分辨质谱分析,定性效果好,也可用于定量分析。
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