ITO靶材检测 ito靶材是什么？

2021-05-19 04:21:17 来源：朵拉利品网

1, ito靶材是什么？

ito靶材属于陶瓷靶材的一种，近些年来人们对于电脑、电视、手机显示屏的追求越发明显，由此也带动了ito靶材的市场需求。但目前ito技术发展还不够先进，发展空间巨大。
ITO材料是一种n型半导体材料，该种材料包括ITO粉末、靶材、导电浆料及ITO透明导电薄膜。其主要应用分为平板显示器（FPD）产业，如液晶显示器（LCD）、薄膜晶体管显示器（TFT-LCD）、电激发光显示器（EL）、场发射显示器（FED）、电致有机发光平面显示器（OELD）等离子显示器（PDP）等。
国内对ITO靶材的需求量大幅增长，国内生产的ITO靶材密度低，无法满足高端平板显示器行业对于靶材质量的要求.仅仅部分用于低端液晶产品中。目前世界上只有日本、美国、德国等少数发达国家和地区能生产ITO靶材，而我国平板显示器产业所需求的ITO靶材的98%依赖于进口，因此，研制开发ITO靶材生产技术是现有In生产企业开发In深加工技术的首选目标。
国外ITO靶材的生产工艺和技术设备已较为成熟和稳定。其主要制备方法有热等静压法、热压法和烧结法。

2, ITO的测试标准

尺寸：
A、测试方法：用直尺和游标卡尺测量待测玻璃原片的长度、宽度、厚度。
B、判定标准：测量结果在供货商所提供的参数范围之内为合格。
面电阻：
A、测试方法：把待测试玻璃整个区域做为测试区域，然后测试区域分成九等份后再用四探针测试仪分别测试各区域的面电阻。
B、判定标准：根据测试结果计算出电阻平均值及电阻资料分散值，结果在要求范围内既是合格。
ITO层温度性能
A、测试方法：把待测玻璃原片在3000C的空气中，加热30分钟，测试其加温前后的同一点面电阻阻值。B、判定标准：ITO导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%为合格。
蚀刻性能：
A、测试方法：把待测玻璃原片放入生产线所用的蚀刻液中测试其蚀刻完全的时间。
B、判定标准：蚀刻完全的时间值小于生产工艺所设定时间的一半值为合格。

1.靶材的纯度，可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验；
2.晶粒度：要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验；
3.密度：原则上，靶材的密度越高越好。密度越高，晶粒间隙越小，压制紧密，靶材质量越好。可以用称量法检验；
4.组织均匀性：对于两种成份以上的合成靶，特别是相互难融的成分，还可以做金相检验，看成分、组织是否均匀一致；
5.机械性能：有些靶材，如有色金属等可以要求一下。石墨靶，高级一点的，也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
具体密度值，要查相应手册啦。一般供应商也会提供。

名词解释

靶材

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

ITO

ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，通常有两个性能指标：电阻率和透光率。

显示器

显示器（英语：display device，别名：监视器）是将一定的电子文件通过特定的传输设备显示到屏幕上再反射到人眼的一种显示工具。 根据制造材料的不同，可分为：阴极射线管显示器（CRT），等离子显示器PDP，液晶显示器LCD等等。

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