电子扫描显微镜扫描电子显微镜的工作原理

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电子扫描显微镜扫描电子显微镜的工作原理

2021-04-13 03:04:06 来源：朵拉利品网

1, 扫描电子显微镜的工作原理

扫描电子显微镜的工作原理：
扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子）、电子振荡（等离子体）。
研发历程：
1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。
1931德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。
1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。
1959年第一台100KV电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜DX3 在中国科学院科学仪器厂（现北京中科科仪技术发展有限责任公司）研发成功。
参考资料来源：搜狗百科——扫描电子显微镜

2, 电子扫描显微镜（SEM）的工作原理？？？

没有听说过“扫描电子显微镜”的说法。目前常见的显微镜，从原理上来分主要分为光学显微镜，电子显微镜和扫描隧道显微镜。
光学显微镜使用两面凸透镜利用光的折射原理进行成像，可以达到1000—1500的放大率。
上世纪三十年代，在德布罗意物质波的理论基础上，利用磁场对电子流的影响以形成凸透镜效应，人类制造出了电子显微镜，分辨本领达到30埃，使人类可以观察到大分子甚至某些原子。
上世纪八十年代，美国人制造出了扫描隧道显微镜，利用量子物理中的隧道效应导致的电流变化，经过计算机处理绘制出三维图像。这种新型的显微镜，放大倍数可达3亿倍，最小可分辨的两点距离为原子直径的1/10，也就是说它的分辨率高达0.1埃。
因此，光学显微镜可以看到生物细胞、微生物。电子显微镜可以看到病毒。扫描隧道显微镜则可以到所有的原子。

名词解释

电子显微镜

电子显微镜，简称电镜，英文名Electron Microscope（简称EM），经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，透射电子显微镜的分辨率为0.2nm，也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。

扫描

扫描（拼音：sǎo miáo）指通过电子束、无线电波等的左右移动在屏幕上显示出画面或图形，是对某些文字图案的复制，记忆，并保存同样的画面。

电子

电子（外文名：electron）是一种带有负电的亚原子粒子，常用符号e表示，1897年由英国物理学家约瑟夫·约翰·汤姆生在研究阴极射线时发现。电子是电量的最小单元。它可以是自由的(不属于任何原子)，也可以被原子核束缚。电子具有粒子性和波动性，即波粒二象性。

1, 扫描电子显微镜的工作原理

2, 电子扫描显微镜（SEM）的工作原理？？？

名词解释

电子显微镜

扫描

电子

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