液态源化学气相淀积 什么是化学气相淀积？

2020-12-16 02:05:36 来源：朵拉利品网

1, 什么是化学气相淀积？

扩散工艺的步骤：固态扩散工艺（solid-state diffusion）形成结需要两步：淀积（deposition）和推进氧化（drive-in-oxidation），均在水平或垂直的炉管中进行。
a.淀积：预淀积（predeposition、dep、predep），受制约因素一是特定杂质的扩散率（diffusivity），另一个因素是杂质在晶圆材质中的最大固浓度（maximum solid solubility），还有一个就是温度及掺杂源材料；
b.淀积步骤：预清洗与刻蚀—炉管淀积—去釉—评估；
c.扩散源：液态源（BBr3、POCl3…）、气态源（AsH3、B2H6…）、固态源（匙、近邻固态源solid neighbor source、旋转涂抹）；
d.封闭炉管淀积：IBM开发的，在抽真空、密封低压的石英舱中进行淀积，成本太高；
e.推进氧化：推进（drive-in）、扩散（diffusion）、再氧化（reoxidation、reox）作用如下：
■杂质在晶圆中向深处的再分布；
■氧化晶圆的暴露表面；
f.氧化的影响：N型的堆积效应（pile-up）和P型的耗尽效应

2, 热氧化和化学气相淀积制备的氧化硅有什么区别

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。
原理
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上阐述化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：
(1)形成挥发性物质 ；
(2)把上述物质转移至沉积区域 ；
(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质 。
最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。 [1]
特点
1）在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上。
2）可以在常压或者真空条件下（负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好）。
3）采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。
4）涂层的化学成分可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层。
5）可以控制涂层的密度和涂层纯度。
6）绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。
7）沉积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过各种技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。
8）可以通过各种反应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。

名词解释

气相

气相于分配层析或吸附层析，仅适用于分析分离挥发性和低挥发性物质。固定相是在惰性支持物（如磨细的耐火砖）上覆盖一层高沸点液体，如硅油、高沸点石蜡和油脂、环氧类聚合物。

沉积

主要指悬浮在液体中的固体颗粒的连续沉降。水流中所夹带的岩石、砂砾、泥土等在河床和海湾等低洼地带沉淀、淤积；也指这样沉下来的物质形成冲积层或自然的堆积物。

化学反应

化学反应是一个或一个以上的物质（又称作反应物）经由化学变化转化为不同于反应物的产物的过程。 化学变化定义为当一个接触另一个分子合成大分子；或者分子经断裂分开形成两个以上的小分子；又或者是分子内部的原子重组。为了形成变化，化学反应通常和化学键的形成与断裂有关。特别注意化学反应不会以任何方式改变原子核，而仅限于在原子外的电子云交互作用。虽然核变形后可能会引发化学反应，但是核反应与化学反应无关。 化学性质是物质只能在化学变化中表现出来的性质，例如有酸碱性、氧化还原性质、热稳定性、反应性等等。

• 上一篇 气相法白炭黑价格 气相法白炭黑价格
• 下一篇 化学气相传输法制备无水 【高中化学