电子束光刻时间光刻和刻蚀有什么区别？

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电子束光刻时间光刻和刻蚀有什么区别？

2020-02-24 00:21:41 来源：朵拉利品网

1, 光刻和刻蚀有什么区别？

这两个词是半导体工艺中的重要步骤，需要配合剖面图讲解，最好自己找本半导体工艺的书看。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆（或者叫硅片）上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体器件及其电路。
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3, 光刻技术的过程是什么？

摩尔定律：
摩尔定律是由英特尔（Intel）创始人之一戈登·摩尔（Gordon Moore）提出来的。摩尔定律内容为：当价格不变时，集成电路上可容纳的晶体管数目，约每隔18个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。换言之，每一美元所能买到的电脑性能，将每隔18个月翻两倍以上。这一定律揭示了信息技术进步的速度。
摩尔定律有三个版本：
1、集成电路芯片上所集成的电路的数目，每隔18个月就翻一番。2、微处理器的性能每隔18个月提高一倍，而价格下降一倍。3、用一个美元所能买到的电脑性能，每隔18个月翻两番。
Intel已经摸索摩尔定律走了40年，电路板已经可以集成一个可容纳数亿的晶体管。人类已经无法阻止微型世界的发展了，但这Intel也同样遇到了瓶颈。18个月增长1倍的“升级速度”让Intel也开始感觉压力。微处理世界的科技研发掌握在Intel、AMD、台积电等几大厂商中，大家都根据自己的技术研发着各自的产品。很多企业开始走研发新材料的路线，想办法引进更优的材料来优化晶体管提高性能。但Intel公司选择了创新晶体管设计思路，改革了晶体管的设计结构，让其可以3D话。半导体晶体管发展到2023年可以到4纳米至6纳米的工艺制程，这已经是极限了。10年后的CPU将会无法延续摩尔定律吗？
什么是英特尔的钟摆模式（Tick-Tock）?
就象钟表发出的滴嗒声一样，英特尔也希望其处理器发展能够象钟摆那样有规律，以协调英特尔内部产品研发、制造、市场等部门以及与外部软硬件合作伙伴的配套步伐，增强产品的市场竞争力。具体而言，Tick-Tock摆钟式的处理器发展战略，就是在奇数年推出新的制程工艺，偶数年推出新的处理器微架构，这样每两年，英特尔就可以将决定处理器的两大关键核心因素提升到一个新的层次。比如奇数年2005年推出65nm工艺、2007年推出45nm工艺、2009年推出32nm工艺；偶数年2006年推出让Core微架构、2008年推出具有划时代意义的Nehalem微架构、2010年计划推出新一代Sandy Bridge微架构。值得注意的是，英特尔的处理器包括桌面、移动、服务器等多种类型，虽然共享微架构和制程工艺的新技术，但这些处理器的具体发布时间并不相同。
1947年第一个晶体管从第一个晶体管问世算起，半导体技术的发展已有多半个世纪了，现在它仍保持着强劲的发展态势，继续遵循Moore定律即芯片集成度18个月翻一番，每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度发展。大尺寸、细线宽、高精度、高效率、低成本的IC生产，正在对半导体设备带来前所未有的挑战摩尔定律全靠它 CPU光刻技术新一代的替代光刻技术： 157nm F2 EUV光刻紫外线光刻电子束投影光刻 X射线光刻离子束光刻纳米印制光刻
光学透镜透射式透镜（248nm、193nm）反射式透镜（157nm）
掩膜版由透光的衬底材料（石英玻璃）和不透光金属吸收层材料（主要是金属Cr）组成。通常要在表面淀积一层抗深紫外光损伤的增光型保护涂层
光刻技术的原理
光刻机：是一种曝光工具，这是光刻工程的核心部分，其造价昂贵，号称世界上最精密的仪器，目前世界是已有7000万美金的光刻机。光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，到现在全世界也不过两三家公司能够制造而已。

名词解释

光刻

光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件（parts）的关联正确。

摩尔定律

摩尔定律指的是当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目，约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。换言之，每一美元所能买到的电脑性能，将每隔18-24个月翻一倍以上。这一定律揭示了信息技术进步的速度。尽管这种趋势已经持续了超过半个世纪，摩尔定律仍应该被认为是观测或推测，而不是一个物理或自然法。预计定律将持续到至少2015年或2020年。然而，2010年国际半导体技术发展路线图的更新增长已经放缓在2013年年底，之后的时间里晶体管数量密度预计只会每三年翻一番。

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云雀恭弥（日文名：ひばりきょうや）是日本动漫《家庭教师》中的人气角色，是主人公沢田纲吉的云之守护者，并盛中学的风纪委员长，最强不良少年，极其喜欢学校，讨厌群聚、被束缚，是一个典型战斗狂热分子，对小孩子和小动物等格外温柔有耐心与爱心。虽然表面上不会和家族成员群聚，但家族处于危难时就会出手相助，扭转危机。